溅射蒸碳仪 型号:YBT3-ETD-2000C
库号:M242798
参数:
仪器尺寸 :305mm×400mm×390mm(W×D×H)
真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×
H)
溅射靶材:Au
溅射靶材大小:φ 50mm
样品台:50mm (D)
溅射工作电压:0-1600V (DC)可调
溅射电流:0-50mA
溅射定时:0-360S
蒸碳电流 0-100A(AC)
蒸发材料:碳纤维
蒸发工作电压:0-30V
蒸发时间:0-1S
微型真空气阀:可连接φ 3mm 软管
可通入气体: 多种
真空泵: 2 升机械旋转泵(国产 VRD-8)