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溅射蒸碳仪 型号:YBT3-ETD-2000C库号:M242798

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产品详情

溅射蒸碳仪 型号:YBT3-ETD-2000C

库号:M242798  


参数:
仪器尺寸 :305mm×400mm×390mm(W×D×H)
 真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H)
 靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×

H)
 溅射靶材:Au
 溅射靶材大小:φ 50mm
 样品台:50mm (D)
 溅射工作电压:0-1600V (DC)可调
 溅射电流:0-50mA
 溅射定时:0-360S
 蒸碳电流 0-100A(AC)
 蒸发材料:碳纤维
 蒸发工作电压:0-30V
 蒸发时间:0-1S
 微型真空气阀:可连接φ 3mm 软管
可通入气体: 多种
 真空泵: 2 升机械旋转泵(国产 VRD-8)


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