YAMAMOTO山本镀金 A-52-ST12-P01A1 大型硅片水箱(单面电镀用)
YAMAMOTO山本镀金 A-52-ST12-P01A1 大型硅片水箱(单面电镀用)
赫尔槽测试是日本电镀技能认证一级考试中也使用的一种有用方法,是一种可以轻松检查电镀特性的测试方法。可以在单个试件上获得具有宽范围阴极电流密度的镀膜,并且可以研究电镀条件,以及添加剂等化学物质过量或缺乏、微量杂质的存在、沉淀分布的影响可以容易地调查合金膜的状态等。附带的直流电源具有内置温度控制功能,可用于赫尔槽测试以外的用途,例如能够在 10mA 至 10A 范围内设置 STEP 电流。如果您是***次准备赫尔槽,此套件非常方便。
通过使用带温度保险丝的加热器(B-58WJB),增强了保护功能。
这是一块尺寸与晶圆水箱相匹配的阳极板。
请与阳极支架配合使用。
此水箱适用于电镀2至12英寸硅片。它具有从罐底部产生温和对流并在不断过滤的同时溢出的结构。
有两种尺寸可供选择:丙烯酸和 PP,用于单面电镀。双面电镀请参见A-52-STD晶圆双面电镀设备。
规格
产品编号 晶圆尺寸 尺寸(内部尺寸)mm 水箱容量 材料 耐热温度
A-52-ST2-P01A 2英寸 深100×宽100×高100 约1.5L 丙烯酸纤维 65℃
A-52-ST4-P01A 4英寸 深140×宽140×高140 约4.0L 丙烯酸纤维 65℃
A-52-ST6-P01BW 6寸 深210×宽210×高210 约13L 丙烯酸纤维 65℃
A-52-ST8-P01BW 8寸 深280×宽280×高280 约28L 丙烯酸纤维 65℃
A-52-ST12-P01A 12寸 深230×宽386×高420 约47L 丙烯酸纤维 65℃
A-52-ST2-P01A-1 2英寸 深100×宽100×高100 约1.5L 聚丙烯 80℃
A-52-ST4-P01A-1 4英寸 深140×宽140×高140 约4.0L 聚丙烯 80℃
A-52-ST6-P01BW1 6寸 深210×宽210×高210 约13L 聚丙烯 80℃
A-52-ST8-P01BW1 8寸 深280×宽280×高280 约28L 聚丙烯 80℃
A-52-ST12-P01A1 12寸 深230×宽386×高420 约47L 聚丙烯 80℃