成仪实验室设备 1100度RTP快速热退火炉真空管式炉

参数

发货地河南郑州 3天内发货供货总量10台

产品详情

RTP快速退火炉主要技术参数

1	项目	主要技术指标	数据
2	规格型号	RTP1100
3	温度控制	温度点	1200℃
4		额定温度	1100℃
5		稳定状态温度范围	100～1000℃
6		温度测量精度	±0.2℃
7		温度控制重复性	±1℃
8		温度控制***度	±1℃
9		温场均匀性	±2℃
10		温度状态工艺时间（S）	2～100（100～1000℃）
11		最快升温速率	500℃/S
12		降温速率（℃/S）	1～200（通氮气，速率更快）
13		温度控制模式	智能模糊全闭环控制
14	软件功能	操控系统	NBD-101智能系统
15		用户界面	中英文互换
16		工艺菜单编辑	触屏式图像操作界面
17		扩充端口	可扩充真空测控和FFC供气
18		看门狗	系统进入死循环时关闭主控制器
19		热电偶校准状态检测	软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常
20		超高温状态检测	软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路
21		触摸屏尺寸	7"LCD
22	物理指标	功率	15kw
23		额定电压	AC380～400V，50Hz（60Hz定制）
24		传感器类型	S型单铂铑
25		反应腔室内径尺寸	Φ100X200mm
26		式样有效空间	3.5"
27		真空度	4.3×10-3Pa(外配分子泵）
28		抽气端口尺寸	KF16（或Φ8mm宝塔嘴）
29		供气口尺寸	Φ6.35mm双卡套
30		冷却方式	自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)
31		外形净尺寸（mm）	长920×深500×高560
32		重量	净重65kg