研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um
平板状氧化铝抛光粉是以优质工业氧化铝粉为原料,采用特殊生产工艺处理,生产出来的氧化铝抛光粉晶体形状呈六角平板状,因而称之为平板状氧化铝或片状氧化铝。
平板状氧化铝的氧化铝纯度***以上,具有耐热,耐酸碱腐蚀,硬度高的特点。与传统磨料球形颗粒不同,平板状氧化铝的底面平整,研磨时颗粒贴合工件表面,产生滑动的研磨效果,避免了颗粒尖角对工件表面的划伤,另一方面,平板状氧化铝进行研磨时,研磨压力是均匀分布在颗粒表面,颗粒不易破碎,耐磨性能提高,从而提高了研磨效率和表面光洁度。
对于半导体材料如半导体硅片,平板状氧化铝的应用,可以减少磨削时间,大幅提高研磨效率,减少磨片机的损耗,节省人工和磨削成本,提高磨削合格率。品质接近国外***。
显像管玻壳磨削工效提高3-5倍;
合格品率提高10-15%,半导体硅片合格品率达到***以上;
研磨消耗量比普通氧化铝抛光粉减少40-40%;
平板状氧化铝微粉是以工业氧化铝粉为主要原料,采用特殊矿化剂、高温控制晶粒形状及大小,经特殊处理和严颗粒呈独特的平板状结构,硬度高达莫氏九级,磨削力强,不易产生划痕,可得到高效率、高精度的被加工表面,有特殊设计的粒度分布,质量和日本FUJIMI公司相当。
平板氧化铝研磨抛光微粉的特点(研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um)
1)平板型氧化铝研磨抛光微粉与其它氧化铝研磨抛光微粉的区别是:片状,硬度高,粒度均匀。
2)特点为:
A、形状为平板状,即片状,使磨擦力增大,提高了磨削速度,提高了工效,因此可减少磨片机的数量、人工和磨削时间,如显像管玻壳磨削工效能提高3-5倍;
B、由于形状为平板状,故对于被磨对象(如半导体硅片等)来说不易划伤,合格品率可提高10%至15%,如半导体硅片,其合格品率一般能达到***以上;
C、由于硬度比普通氧化铝研磨抛光微粉高,故用量比普通氧化铝研磨抛光微粉要少,如果磨同样数量的产品,其用量比普通氧化铝研磨抛光微粉要节约40%至50%;
D、与国外同类产品相比,质量达到或超过国外同类产品,品质已达到***,但产品价格只有国外同类产品的50%;
E、由于平板型氧化铝研磨抛光微粉的优良性能,故加工的产品合格品***,质量稳定,生产成本只有原来的50%-60%。
3、片状氧化铝是以工业氧化铝为原料,添加复合矿化剂,经过高温煅烧而成。晶体形貌为具有一定厚度的片状备用于以下方面的研磨抛光磨料,平板型氧化铝研磨抛光微粉的用途:
1)电子行业: 单晶硅片、压电石英晶体、化合物半导体的研抛。
2)玻璃行业: 硬质玻璃和显象管玻壳的加工。
3)涂附行业: 特种涂料和等离子喷涂的填充剂。
4)金属和陶瓷加工业。
化学成分:(研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um)
Al2O3 | ≥99.0% |
SiO2 | <0.2 |
Fe2O3 | <0.1 |
Na2O | <1 |
物理性能:(研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um)
化学成分 | α-Al2O3 |
颜色 | 白色 |
比重 | ≥3.9g/cm3 |
莫氏硬度 | 9.0 |
生产规格:(研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um)
型号 | D3(um) | D50(um) | D94(um) |
CA40 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
CA35 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
CA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
CA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
CA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
CA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
CA12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
CA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
CA05 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
CA03 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
产品应用范围:(研磨半导体单晶硅片用片状氧化铝10um 12um)
1)电子行业 : 半导体单晶硅片、压电石英晶体、化合物半导体(砷化镓、磷化铟)的研磨抛光。
2)玻璃行业 : 水晶,石英玻璃,显象管玻壳屏,光学玻璃,液晶显示器(LCD)玻璃基板,压电石英晶体的研磨加工。
3)涂附行业 : 特种涂料和等离子喷涂的填充剂。
4)金属和陶瓷加工业:精密陶瓷材料,烧结陶瓷原料,***高温涂料等