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日本尼康NIKON测量仪VMR- K3040ZC—西崎科技西南供应

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  • 加工定制
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西崎科技(成都)有限公司 4年
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产品详情

日本NIKON尼康 CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-K3040ZC产品叙述:

这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪,它能够在同一视场内,同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测****的IC封装的立体形状。

明场

共聚焦

合成效果 
应用领域:

硅片级芯片封装(二维+高度)、MEMS、Probe Card等。

特點

領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統
新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用
高精度之高度量測
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)

物鏡選擇倍率1.5x3x7.5x工作距離(W.D.)24mm24mm5mmConfocal optics (測高範圍)*大測高距離1mm1mm1mm視野8mm x 6mm4mm x 3mm1.6mm x 1.2mmZ 軸重複性 (2σ)0.6μm0.35μm0.25μm



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