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产品名称：管式快速退火炉
管式快速退火炉产品描述：MXT-1000是一款小型快速热处理管式退火炉，炉管采用外径为4"的高纯石英管，它是专为半导体或太阳能电池基片（达3“）的退火而设计。由于升温速率可达到50℃/s，30 段温度控制，精度为 +/-1°C。计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。 随意对于基片和薄膜进行快速退火处理，这是一台***的实验设备。
技术参数：
1.加热元件：8根碘钨(红外)灯管（D=10 L=300 T=200mm）
2.输入功率：208-240AC，50/60Hz单相，9Kw
3.工作温度：《1000℃
4.升温速率：50℃/秒
5.可放基片尺寸：3"
炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）
加热区：12" length with 4"X12”恒温区（ +/-5ºC ）
石英管和样品架：
· 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
· 3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料
· 一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
· AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+- 5°C
真空法兰：
· 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封
· 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶***了温度的准确。
水冷：如果要求通冷却水.
· 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI
· 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）.
· 警告: 这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融
流量计：范围： 16 - 160 ml/min
真空表：
· 数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr .
· 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
真空度：
· 用机械泵真空度达 50 mtorr .
· 用分子泵真空度可达 10-4 torr .
温控仪：
· PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能
· 热偶: 进口K type
· 自整定功能
· 控温精度: +/- 1°C
· RS485 串口和温控软件
最快升温速度：
室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec
保修期：电器部分一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内）
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