KJ-T1200-P4路质子混气PECVD系统,由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成。
该系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。
设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。
管式炉系统 | |
炉管尺寸 | 直径60mm |
加热区长度 | 440mm(更多规格可按照客户要求定制) |
正常工作温度 | 1100℃ |
工作温度 | 1200℃ |
加热元件 | 掺钼合金加热丝 |
炉膛材质 | 采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射***、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
控温方式 | 智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
真空系统 | |
高真空分子泵组,高真空复合真空计 前级泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 | |
质子流量计 | |
高精度质量流量计可准确的控制气体流量 气体流量范围为0-500SCCm 误差为0.02% 出气真空压力表,内置气体混气系统, 不锈钢针阀计管道,标准双卡套接头 | |
射频电源系统 | |
输出功率 | 50-500W可调±1% |
RF频率 | 13.56MHz,稳定性±0.005% |
噪声 | ≤55DB |
冷却 | 风冷 |
输入功率 | 1KW AC 220V |
提供相关配件 | 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞 |
标准配件:
质子流量计×1 | 真空系统×1 | 射频电源×1 |
气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | 防烫罩×2 |
高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,***错误发生。
5.具备多组历史数据记录功能。
6.具备同时显示多段温度及时间功能。
1.制冷量达1800W,可选用环保冷媒;
2.温控精度可达±0.3℃;
3.智能温控器具有两种温控模式,适用于不同的使用场合;
有多种设定和故障显示功能;
4.具有多种报警保护功能:压缩机延时保护;压缩机过流
保护;水流报警;温度***/低报警;
5.多国电源规格,CE、RoHS认证;
6.长寿耐用,操作简便;
7.可选配加热器和净化水质配置。
1、我公司对产品设备保修期一年,在此期间内设备发生质量问题,本公司对设备实行免费包修,实行终身维修服务。
2、在保修期限内,如遇设备质量问题,用户电话、书面、传真、电子邮件或其它方式通知维修需要,我公司将在1小时回报处理方案,24小 时内技术人员到现场,或以客户要求为准,确保设备正常运行。保修期满后,我公司仍提供优质服务,仅收取材料费。
3、针对客户的具体操作人员,我公司免费上门给予操作培训、简单故障排除、技术深入研制;将产品各项功能操作均演示给用户的操作人员,确保用户对产品能熟练的进行规范、安全操作,对一般故障能进行处理和对设备的日常维护及保养,***仪器设备使用都能够掌握使用技术。
4、技术工程师可按要求免费上门服务(整机维护、技术讲解及操作指导等)。对产品进行免费安装、调试。我公司技术顾问随时解答客户在技术及标准规范方面的疑问及进行技术指导。
5、由厂商负责提供运输服务及运输费用,包装方式按照原厂出厂原标准包装。
6、全新的原包装产品,产品符合国家质量检测标准。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳***:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!