CVD试验管式炉系统 SLGC-80-12管式真空气氛电阻炉 1200℃
一、 产品简介
CVD管式炉,主要为高等院校、科研院所、工厂企业等行业实验室提供高温热处理环境,可应用于金属材料、石墨材料、锂电材料、晶体材料等新材料领域。
二、 产品特点
1、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,拼装结构,高温、坚固
2、 炉管采用石英管或者刚玉管,不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出烧结样品
3、 升温速度快,从室温升到1000摄氏度,一般需要15-30分钟
4、 采用进口温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃
5、 控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30个程序段
6、 一体式结构,外观设计,美观、大方
7、 电子元器件均采用产品,带有漏电保护功能,
8、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作
9、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成
10、气路系统可选择一路或三路气体质量流量计,带混气系统也可单进单出,通入气体数字控制,流量开关和流量时间等程序可通过触摸屏自动控制,实现气路控制无人值守;精度:±1%F.S,响应时间:≤4sec
11、真空系统采用一台旋片式真空泵或真空机组,真空度测量采用数字复合真空计也可选择皮拉尼真空计,测量仪表集成在温控面板上,方便易操作
三、CVD管式炉系统系列产品技术参数{需真空泵与1、2、3...路气体流量控制系统}
型号 | 加热区 | 炉管尺寸 (外径×长mm) | 高 温度 | 使用温度 | 电压 | 功率 | 加热元件 | 控温精度 |
SLGC-40-12 | 300mm | Φ40×1000 | 1200℃ | 1150℃ | 220V | 2KW | HRE | ±1℃ |
SLGC-60-12 | 300mm | Φ60×1000 | 1200℃ | 1150℃ | 220V | 3KW | HRE | ±1℃ |
SLGC-80-12 | 300mm | Φ80×1000 | 1200℃ | 1150℃ | 220V | 4KW | HRE | ±1℃ |
SLGC-100-12 | 300mm | Φ100×1000 | 1200℃ | 1150℃ | 220V | 5KW | HRE | ±1℃ |
SLGC-40-14 | 300mm | Φ40×1000 | 1400℃ | 1350℃ | 220V | 2KW | SIC | ±1℃ |
SLGC-60-14 | 300mm | Φ60×1000 | 1400℃ | 1350℃ | 220V | 3KW | SIC | ±1℃ |
SLGC-80-14 | 300mm | Φ80×1000 | 1400℃ | 1350℃ | 220V | 4KW | SIC | ±1℃ |
SLGC-100-14 | 300mm | Φ100×1000 | 1400℃ | 1350℃ | 220V | 5KW | SIC | ±1℃ |
SLGC-40-17 | 300mm | Φ40×1000 | 1700℃ | 1650℃ | 220V | 6KW | MoSi2 | ±1℃ |
SLGC-60-17 | 300mm | Φ60×1000 | 1700℃ | 1650℃ | 220V | 6KW | MoSi2 | ±1℃ |
SLGC-80-17 | 300mm | Φ80×1000 | 1700℃ | 1650℃ | 380V | 8KW | MoSi2 | ±1℃ |
SLGC-100-17 | 300mm | Φ100×1000 | 1700℃ | 1650℃ | 380V | 8KW | MoSi2 | ±1℃ |
HRE:质优的高温合金发热元件, SIC: 硅碳棒加热, MoSi2硅钼棒发热元件
高温炉系列
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