- 商品
- 详情
- ULVAC品牌
- 个规格
- 螺杆型干泵类型
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过***的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。 特点 ■大气压附近的排气速度为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。 （*1）LS120A-C时 用途 LS系列有两种规格。 规格 *1：到达压力时 排气速度曲线
在4种机型中，您可根据设备的大小、使用条件及用途选择排气容量的泵。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵***的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下，
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科***技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本（*3)
■希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120～1200m3/h。
（*2）C规格时
（*3）L规格还可以使用稀释气体。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。型式 （C：C式样）
（L：L式样）LS120A LS300A LS600A LS1200A C L C L C L C L 排气速度 m3/h 120 380 600 1000 到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1 电源电压 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V 消费电力
概略值 *1kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7 冷却水量 L/min >2.0 >4.0 Purge gas 量 *2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 水蒸气
处理量 *3kg/h ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5 噪音值*1 dB(A) 61 61 62 64 吸气口 KF50(水平)／
VG50(垂直)***-F-50 ***-F-80 ***-F-100 排气口 KF40 KF40 KF40 KF40 质量 kg 142 220 242 266 适用规格 CE、cTUVus 标准附属品 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器 本体选配件 电源电压：200V级或400V级、密封部材质：全氟弹性体(仅用于L型) 外部选配件 MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、
Gas purge
*2：C式样不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用时的水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏
在线问
- ULVAC
- 个
- 螺杆型干泵
- LS300A
