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郑科探KT-Z1650CVD小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪 真空镀膜机 金属镀膜

参数
  • 真空镀膜机产品特性
  • 郑科探品牌
  • 规格
河南 郑州 10天内发货 9999台
郑州科探仪器设备有限公司
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产品详情

小型蒸镀仪

KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明玻璃腔体减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。



 

设备名称

小型蒸镀仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1200W

输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

透明玻璃腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ75  (可安装φ68基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  陶瓷坩埚   石英石坩埚

 

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

可选配扩展

1: 机械真空泵(≤5Pa(5分钟)

2 :分子泵机组(可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa)

3 :数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)

4:膜厚仪:(厚度范围 0-9999A ,  厚度显示分辨率 1A   

速率范围 0-999.9A,速率显示分辨率 0.1A  ,晶振频率 5-6MHz )


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