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臭氧催化氧化工艺在污水深度处理工艺中备受瞩目，其主要原因在于其强大的氧化能力、快速反应速率、优良的处理效果、较低的运行费用以及无二次污染等。此工艺可以有效去除水中的色度、臭味，并去除铁、锰等无机物质，同时降低污水中的COD、TOC、UV吸收值等污染物指标。目前，臭氧催化氧化工艺在多个领域得到了应用，包括污水处理厂的二级出水、市政污水、焦化废水、印染、垃圾渗滤液、制药以及化学工业的废水处理等。
臭氧污水处理包括以下步骤：
1. 预处理，去杂质，保护臭氧反应器。
2. 臭氧氧化反应，将有害物质转化为无害物质。
3. 沉淀，去除悬浮物和沉淀物，可采用物理或化学方法。
4. 过滤，过滤微小杂质，包括物理和化学方法。
5. 消毒，杀死细菌和病毒等微生物。臭氧消毒高效。
臭氧氧化催化处理废水应用特点：
1. 破坏有机物，提高可生化性
2. 深度处理，消毒灭菌
3. 高混合效率，良好杀菌效果
4. 可靠运行，大功率进口模块
5. 无级可调臭氧产量和浓度
6. 可用于多种废水
臭氧氧化催化处理废水技术特点：
1. 高频臭氧发生器，节能
2. 10%~ 连续调节臭氧输出产率
3. 卧式结构，美观
4. 长使用寿命，水冷却系统
5. 人机操作，无冲击电流，电压适应性强
6. 蜂窝式放电技术，高产量和浓度
7. 进口电源核心部件，数字控制电源技术
8. 完善的冷却系统，不受影响
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