全自动精密六轴对位平台,是一款可实现水平X-Y-角度θ与空间角度偏摆的六自由度对位平台。
采用精密交叉滚柱导轨与精密圆锥滚子轴承,搭配伺服滚珠丝杆驱动控制,实现水平方向的精密位移与空间方向3个Z轴的自由升降运动。工作台面可围绕单轴或多轴做空间角度的偏摆与倾斜。从而实现水平位移与空间偏摆六自由度的精密位置校准。
主要应用于: 晶圆半导体检测、光学视觉检测、实验设备;.
激光加工、光纤、计量学、医疗设备等微加工领域
平台尺寸与位移行程可根据客户实际工况需求进行客制化,为客户提供完善的定制服务与技术支持!
(X-Y-角度θ运动示意图)
(升降与空间角度偏摆运行示意)