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ta1钛靶钛靶靶材高纯氧化钨靶钛靶材铬靶钛管靶

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宏晟拓TA1TA2钛靶锆靶镍靶高纯钛靶

¥120.00 1 - 99
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参数

钛材质
宝鸡产地
001货号

发货地陕西宝鸡 7天内发货供货总量1000000件

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LY航达Ta1Ta2 钛锻件钛环钛靶材钛圆环耐蚀性及电学光学性能好

LY航达Ta1Ta2 钛锻件钛环钛靶材钛圆环耐蚀性及电学光学性能好 ¥120.00

TC4钛板 TA1 TA2 纯钛板GB/T3621-2007标准宽厚板

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供应广东制表行业TA1钛板/宝鸡钛棒/钛合金/钛板

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九铭特钢TA1/TA2钛合金加工件钛异形加工钛靶材环件等可定制

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高耐热性TC4钛合金板材 tc4钛棒 Ti-6Al-4V钛板钛靶材原厂质保

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TiAl50/50 钛铝合金钛铝靶金属靶材高纯溅射靶材

TiAl50/50 钛铝合金钛铝靶金属靶材高纯溅射靶材 ¥1000.00

产品详情

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.9***甚至99.99***。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀

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产品参数

材质钛
产地宝鸡
货号001
规格客户需求
用途化工
品牌宏晟拓

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宏晟拓TA1TA2钛靶锆靶镍靶高纯钛靶: ¥100.00~¥120.00