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真空直线平台：
超高真空直线丝杆平台提供长行程，具有最小高度可以负荷达10kg，他们有广泛间隔的“五辊”滚筒导轨在简单的复合机制中是有用的扭转载荷小。他们是制造使用耐真空的特殊材料，动力使用AML的耐高真空步进电机步进电机。直线运动由金刚石研磨的并校正的丝杆和螺母配合，精密研磨以***良好的精度并将预紧丝杠位置稳定性消除齿隙。
真空平台指标
行程25-85mm , 每步的分辨率可以达到1u，零间隙，高刚性结构，负载可以达到50kg。可以直接搭载XYZ运动平台。真空度范围是：10^10mbar以内。使用交叉滚珠导轨运动，使运动精度更高。
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