工厂定制plasma设备低温等离子表面处理机 橡胶塑料表面改性活化
¥8500.00
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- 深圳震华品牌
- ZH-ZQ-260L型号
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工厂定制plasma设备低温等离子表面处理机 橡胶塑料表面改性活化
¥8500.00
产品详情
在半导体产业这片高科技的沃土上，每一个微小的进步都凝聚着对***与效率的不懈追求。半导体硅片，作为集成电路的基础材料，其表面的清洁度直接关系到芯片的性能与可靠性。为此，半导体硅片等离子清洗机应运而生，成为现代半导体制造工艺中不可或缺的关键设备。
等离子清洗机利用高能等离子体对硅片表面进行精细处理，通过离子轰击和化学反应相结合的方式，有效去除表面附着的有机物、微粒、金属离子等污染物。这一过程不仅高效且***，还能在不损伤硅片基材的前提下，***改善其表面形貌和润湿性，为后续工艺如光刻、镀膜等创造理想的条件。
相比传统的湿法清洗，等离子清洗具有***的优势。它无需使用大量化学试剂和水资源，减少了环境污染和废水处理成本；同时，由于等离子体能够深入到硅片表面的微小缝隙中，因此清洗效果更为***，有助于提高产品的成品率和可靠性。
随着半导体技术的不断发展，对硅片表面清洁度的要求也越来越高。半导体硅片等离子清洗机以其***的清洗性能和环保特性，正逐步成为半导体制造领域的主流清洗设备。未来，随着技术的不断创新和完善，等离子清洗机有望在更多领域发挥重要作用，推动整个半导体产业向更高水平迈进。
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产品参数
- 否
- 深圳震华
- ZH-ZQ-260L
- 1000*1100*1750mm
- 0-600W（可调）
- 震华
- 射频/中频
- 油泵/干泵（进口）
- PLC+触摸屏
- 两路/三路
- Ar，N2，O2，CF4，H2等
