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3D飞点分光干涉仪-晶圆bump检测 3D Flying Point White Light Spectral Interferometer

参数
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苏州卡森电子有限公司 5年
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产品详情

检测说明:

案例背景:随着现代电子装置对小型化、轻量化、高性能化、多功能化、低功耗化和低成本化方面的要求不断提高,IC芯片的特征尺寸不断缩小,且集成规模迅速扩大,芯片封装技术也在不断革新,凸点加工工艺(Bumpprocessflow)也因此发展起来。

案例名称/需求:晶圆表面形貌检测、bump球高度检测

解决方案:采用3D飞点分光干涉仪系列,采集点云数据,用GIVS 3D进行检测。

软件工具:平面校正、平面拟合、点云转深度图、多点高度测量等。

检测方案:

1、点云数据采集;

2、进行点云数据校正,将点云转成深度图;

3、选择测量基准区域,平面拟合,进行多点高度测量。






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