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dellmeco半导体隔膜泵应用于洁净室要求工艺领域

参数
  • 可靠产品特性
  • 隔膜泵往复单元
  • DELLMECO品牌
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上海苏业机电设备有限公司 5年
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产品详情

dellmeco半导体隔膜泵

 

SEMI DMS系列的泵是专门为半导体行业设计的。

这些独特产品的整个组装过程在100级洁净室中完成,包括对零件进行双重清洁,用去离子水进行测试,用塑料箔密封。

与液体接触的SEMI T和SEMI H泵的所有部件均由PTFE和TFM制成。与液体接触的SEMI E泵的外壳部分由UPPE(超纯聚乙烯)制成。因此,必须检查泵中使用的任何液体是否符合设备材料。

对于SEMI E泵,必须遵守工作压力(6bar)和液体温度(70°C)。对于SEMI H和T泵,温度限制和可靠的驱动压力是不同的。



 


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