psd位置传感器是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。是一种的光电器件,或称为坐标光电池。它是一种非分割型器件,可将光敏面上的光点位置转化为电信号。psd由p衬底、pin 光电二极管及表面电阻组成。具有位置,响应速度快和处理电路简单等优点。
传感器原理
当一束光落在 psd 上,相应于光能量的电荷在入射点产生,电荷通过 p 型电阻层被电极收集。p 型层 是均匀一体的电阻层,被电极收集到的光电流与入射 点和电极间距成反比。 由此可得出如下公式:i0=i1+i2
i1 和 i2 是电极的光电流, l 和 i0 分别代表电极间距和总光电流。 当 psd 几何中心设定为坐标原点: 当 psd 一端设定为坐标原点: 由公式(3),(4),(7),(8)显示,不同的比率可得出相应的与光能量无关的入射光点的位置。
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