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洁净厂房由于其封闭性，发生火灾时烟雾不能从窗口排出，空调系统全部关闭，烟雾对人员的安全疏散构成一定的威胁，因此在洁净厂房走廊，应设置加压送风消防排烟或加压送风系统，由于洁净厂房内管线较多，若单独增加一套排烟管有很大的难度，因此可与通风、净化空调系统合用，但必须按《建规》采取可靠的防火安全措施。
洁净厂房某些工艺段使用易燃易爆化学危险物品，散发有害气体，设计中应注意两点：一是该区域应设置单独的事故排风系统；事故排风系统应在便于操作的地点设置自动和手动控制开关，并与净化空气调节系统连锁。二是为防止净化空调系统停止运行时，室外空气倒流入洁净室，引起污染或积尘。送风系统应设置防灌措施，排风风机应选用防爆型。
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