晶振片一般用5Mhz,6Mhz两种标定频率, 金、银(用于高热负荷过程)和减压合金(用于电介质材料和半导体过程的光学涂膜)。
晶振片的电极对膜厚监控至关重要,目前市场上提供三种标准电极材料:金、银和合金。用户所镀的材料不同,需选用不同的电极材料产品。
金:是***使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学温定性,易于沉积。适合于镀低应力膜料,如镀Al、Au、Ag、Cu等。
银:适合于镀高应力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。
银铝合金:适合于镀介质光学膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。
为了提高晶振片的稳定性,增加电极膜与石英晶片的附着强度,我司根据经验总结在镀电极材料之前,先镀一层镉(Cr)效果更好。
在使用性能不变的情况下金银合金电极膜比金电极膜使用寿命***。