德国PI器纳米计量传感和传感器评估电子PI E-852 PISeca系列
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德国SFK圆柱和滚针推力轴承的轴承垫圈AS 0414系列
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瑞士TOOL-TEMP电子温度控制器调节浴TT-100 K-E型
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Physik 压电纳米定位表
Physik 多轴压电
Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。
带压电陶瓷驱动器和固态接头的升降/倾斜工作台
P-541.2 • P-542.2 压电交叉工作台
大口径平面XY纳米定位系统
高度低，易于集成：16.5 mm
孔径 80 mm × 80 mm
行程可达 200 μm × 200 μm
通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
高动态直接驱动版本
传感器：低成本应变片传感器或电容式传感器，可实现更高性能
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
与显微镜载物台结合使用，可实现更大的行程范围
应用
扫描显微镜
高通量显微镜
超分辨率显微镜
掩模/晶圆定位
干涉
测量
生物工艺学
显微操作
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们***了***机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
通过平行运动实现高动态多轴操作
在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用于一个公共平台。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和***的运动。
P-541.2CD /P-541.2CL
P-542.2CD /P-542.2CL
P-541.2DD
P-541.2SL
P-542.2SL
P-541.20L /P-542.20L
P-541。Z • P-541。T压电升降台/升降和倾斜台
扁平化设计，大光圈
高度低，易于集成：16.5 mm
孔径 80 mm × 80 mm
行程可达 150 μm
倾斜角度高达 1.2 mrad。
通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
传感器：低成本应变片传感器或电容式传感器，可实现更高性能
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
可与显微镜载物台结合使用，以实现大行程范围
应用
扫描显微镜
超分辨率显微镜
生物工艺学
掩模/晶圆定位
样品定位
干涉
测量
PICMA® 压电陶瓷促动器具有***使用寿命
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们***了***机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
通过平行运动实现高动态多轴操作
在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用于一个公共平台。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和***的运动。
P-541.T0L
P-541.TCD
P-541.TSL
P-541.Z0L
P-541.ZCD
P-541.ZSL
P-518 • P-528 • P-558 压电升降和倾斜工作台
高动态，大光圈
6轴压电定位器
3轴升降和倾斜工作台/1轴升降台
Z轴行程/倾斜角度可达 200 μm / 2 mrad（高达 240 μm / 2.4 mrad，不受控制）
通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
无间隙和高精度固态导轨
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
自由光圈 66 mm × 66 mm
通过集成电容式传感器实现线性度
应用
测量
干涉
光子学/集成光学
光刻
纳米定位
扫描显微镜
样品比对
微加工
PICMA® 压电陶瓷促动器具有***使用寿命
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们***了***机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度
所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。
P-518.TCD
P-518.ZCD
P-518.ZCL
P-528.TCD
P-528.ZCD
P-528.ZCL
P-558.TCD
P-558.ZCD
P-558.ZCL
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