PZT薄膜-外延铁电薄膜
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PZT薄膜-外延铁电薄膜
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技术规格
One side contacts：Yes
Quartz Frequency：5 MHZ
Nominal Sensitivity：1.767 x 10-8 g Hz-1 cm-2
Frequency Tolerance：± 20 KHz @ 23°C
Capacitance：~5 pF (C0)
Quartz Density：0.0026497 Kg/m3 @ 25°C
Cut：AT
Quartz Thickness：~ 160 um
Blank Diameter：14 mm
Front electrode diameter：11.5 mm
Back electrode diameter：6 mm
Electrode material：Gold (Au)
Electrode Coating：SiO2 - Au - Ti substrate
Electrode Thickness：~ 10 nm Ti - 200 nm Au - 50 nm SiO2
Electrode Contacting：Single - sided contact
Electrical Connection：Pogo-pins
Surface appearance：Transparent
Working temperature：up to 250 °C
Cleaning：A new sensor might be contaminated. Pre-cleaning the surface will give more reproducible results
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