压力传感器
特点
使用蓝宝石上硅技术及应变计,将压力作为电信号进行测量的高精度、长期稳定型压力传感器。根据不同的测量目的而连接各种不同的测量仪器,进行压力的显示、记录、控制、监视等。 蓝宝石上硅(SOS)技术是指,在蓝宝石(Al2O3单晶)电路板上生长硅薄膜的结晶(外延生长),加工成硅半导体而形成应变计的技术。 硅半导体应变计和蓝宝石电路板(压力传感器隔膜)之间的接合为原子级别,因此实现了稳定性优异的压力传感器。
高精度
作为隔膜材料的蓝宝石属于氧化铝单晶,响应性高,直线性和磁滞特性***优异。
高可靠性
硅半导体应变计和蓝宝石电路板之间的接合为原子级别,因此具有***稳定的特性和高可靠性。负压侧的负载特性与正压侧保持相同水平,因此可测量高精度的复合压。
高耐热性
SOS技术中的蓝宝石电路板本身即为高绝缘体,即使在350℃的高温环境下也可用作传感器。
氢气适应性
蓝宝石的氢气适应性优异,解决了透射和脆化问题。
产品用途
• 建筑机械的液压管理
• 在空间狭窄的管道内进行压力测量
• 空调装置等的制冷剂压力监视
• 气体填充容器的品质管理
• 可根据不同用途来选择尺寸、形状、规格精度等,因此被广泛用作嵌入设备用传感器。
美蓓亚的压力传感器主要用于一般工业领域,其精度高,耐环境性和温度特性优异,直接与压力介质和元件接触(直压式),还适用于需高响应性的试验检测等的压力计测。
压力传感器SOS压力传感器
复合压用压力传感器 NS30T系列
特点
小巧、轻盈 φ16 mm×约40 mm、重量50 g
高精度 0.2 %R.O.(包括非线性、滞后性、重复性)、0.1 %R.O.(高精度规格)
可测量复合压 -100 kPa~各额定量程(200 kPa・・・10 MPa)的应变片压力(负压、复合压)
适用于低压区域 0~200 kPa、0~500 kPa等1 MPa以下的低压区域
补偿温度范围 -20℃~120 ℃(标准)、-40℃~150℃(特殊规格)
安全温度范围 -45℃~160℃
高响应 固有频率 200 kPa~10 MPa/72 kHz~566 kHz(不锈钢的约5倍)
★用途
自动变速箱和发动机试验用、各种测试台、电磁阀试验设备、量热仪、CO2压缩机、流量测量设备
规格
额定量程 | 200 kPa~10 MPa |
---|---|
安全过载 | 200 %R.C. |
极限过载 | 300 %R.C. |
精度 | 0.2 %R.O./0.1 %R.O.(高精度规格) (包括非线性、滞后性、重复性) |
额定输出 | 1.5 mV/V±0.15 mV/V (NS30T-200KP/-500KP:1.0 mV/V±0.10 mV/V) |
推荐激励电压 | DC10 V |
激励电压 | DC15 V |
零点平衡 | ±0.05 mV/V |
输入电阻 | 700 Ω ~ 1 000 Ω |
输出电阻 | 700 Ω ~ 1 000 Ω |
绝缘电阻 | 5 000 MΩ |
补偿温度范围 | -20 ℃~120 ℃(特殊规格:-40℃~150℃) |
安全温度范围 | -45 ℃~160 ℃ |
温度变化对零点的影响 | 0.2 %R.O./10 ℃ |
温度变化对输出的影响 | 0.2 %LOAD/10 ℃ |
防护等级 | IP65 |
压力导入口材质 | 不锈钢 (SUS304L) |
膜片材质 | 单晶蓝宝石 |
安装螺钉 | R1/8 |
紧固扭矩 | 10 N·m~20 N·m |
电缆 | φ3.8、带屏蔽线的耐高温电缆 3 m直接连接、末端分线 |
重量 | 约50 g(仅主体部分) |
型号表
型 号 | 额 定 量 程 | 固有频率 |
---|---|---|
NS30T-200KP*(-**) | 200 kPa | 72 kHz |
NS30T-500KP*(-**) | 500 kPa | 90 kHz |
NS30T-1MP*(-**) | 1 MPa | 119 kHz |
NS30T-2MP*(-**) | 2 MPa | 152 kHz |
NS30T-3MP*(-**) | 3 MPa | 224 kHz |
NS30T-5MP*(-**) | 5 MPa | 406 kHz |
NS30T-10MP*(-**) | 10 MPa | 566 kHz |
*:表压、F(包含负压) **:A01(精度0.1%R.O.)、CP(带前端插头连接器(PRC03-12A10-7M))、 CJ(带前端插座连接器(PRC03-32A10-7F))、Y(带前端Y型压接端子) |