INFICON PCG型皮拉尼电容膜片真空计是个将陶瓷电容膜片真空计与皮拉尼组合在一起的小型真空计。
测量范围在100毫巴(75乇)与大气压之间,在此范围内,皮拉尼灵敏度下降,而电容膜片技术提供***的,与气体类型和流量无关的高至1500毫巴(1125乇)的测量。
陶INF瓷电容膜片技术于一个功能性强的、节省空间的真空计中。
INFICON皮拉尼电容膜片真空计组合皮拉尼与CDG技术,用于在100与1500毫巴(75与1125乇)之间快速,***,与气体类型无关的压强测量。可提供两个内置继电器,PCG免除了对1/2大气压或其它昂贵开关的需要。为简化工艺集成,皮拉尼与CDG讯号组合在一个对数/线性的模拟输出中,跨越真空计的整个量程。
高精度
在100毫ICON PCG组合***的双皮拉尼传感器和与气体类型无关的
巴(75乇)与大气压之间的测量范围中,热导型真空计(如皮拉尼和对流增强型皮拉尼)的灵敏度下降,出现与气体类型有关的非线性现象,而电容膜片技术则提供***的与气体类型无关的高至1500毫巴(1125乇)的测量值。
INFICON PCG在大气压下读值精度达到±2.5%,用于***的,可重复的压强测量,这个特性是标准的皮拉尼所不具备的。
复合型真空计的特点
任意方向安装
放空快速响应,缩短周期时间
快速与可靠的读值,无需大气压调节
单一对数/线性模拟输出讯号,易于工艺集成
小型结构,节省有价值的工艺空
应用
自锁
前级压强监测
真空系统中的安全电路
在中真空和粗真空范围内一般测量与控制
控制高真空电离真空计