最多可同时测量 8 个点
可以显示从ppm级到***的宽范围浓度。
非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。
传感器直接插入(NW 法兰 16/25/40 用于真空)
坚固耐用的传感器,带有特殊涂层,更耐用
MS-500 规格
测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | |
---|---|---|
形状 | 分离式(换能器:壁挂式,传感器:直插式) | |
显示方式 | 数字 4 位显示(密度显示) | |
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM 自动量程 | |
重复性 | ± 0.5%FS以内 0-1%以上 ±1%FS以内或±0.1ppm 以内 0-1%范围 0-1ppm,ATM范围超出浓度***范围 | |
测量点数 | 1~8 | |
气体条件先生/女士 | 压力 | 10-3~200KPa(压力) |
流量 | 0.5~5,000mL/min或0mL/min(自然扩散状态的测量) | |
湿度 | 露点低于环境温度 | |
温度 | 0~100°C | |
其他 | 不含腐蚀性气体(氟化气体、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、易燃成分(包括气体)、油或水。 | |
比较气体 | 大气层 | |
录音机输出 | 仅传输输出 | |
传输功率 | RS-232C接口 | |
报警输出 | 没有 | |
预热时间 | 6分钟内 | |
大小 | MS-500 (控制器) | 92 (W) × 44 (H) × 120 (D) (不包括突起部分) |
MS-510 (转换器) | 100 (W) × 40 (H) × 88 (D) (不包括突起部分) | |
传感器单元 | SD16NW型 | 总长度:100mm(感应部分Φ11×39,机身部分Φ40×51) |
SD25NW型 | 总长度:100mm(感应部分Φ11×42,机身部分Φ40×48) | |
SD40NW型 | 总长度:100mm(感应部分Φ11×41,机身部分Φ40×49) | |
质量 | MS-500 (控制器) | 约0.6Kg |
MS-510 (Transconnector) | 约0.5kg | |
传感器单元 | SD16NW型 | 约0.2Kg |
SD25NW型 | 约0.2Kg | |
SD40NW型 | 约0.35Kg | |
外部连接 | 任何真空法兰(NW16、25、40) | |
使用的电源 | 24VDC±10% |