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999台
产品详情
北崎供应-日本NGK空气分离设备氧气分析仪 TF-21D201
北崎供应-日本NGK空气分离设备氧气分析仪 TF-21D201
可分离的传感器和接收器
重量轻、结构紧凑 可集成到设备中
低浓度（0-10ppm 范围）
用法
半导体制造设备：扩散炉、RTP、各种N2 炉气氛测量、空气分离设备
规格
| 形式 | TF-21D201 （TF-21型传感器 + DTF-201型接收器） | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 测量原理 | 氧化锆灯罩电池工法 | |
| 测量范围 | 最小 0-10ppm ~ 0-*** 零点固定，任意 4 个范围可选 | |
| 校对 | 空气点 + MAX.4 点校准 | |
| 强度 | DC4~20mA × 1 点（非隔离输出，负载电阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 点选择（非隔离输出） | |
| 样气 / 校准气体流速 | 0.5±0.02升/分钟 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1%FS （小于 0~1% 范围） ±0.5%FS （高于 0~1% 范围） |
| 线性 | ±1%FS （0~1% 以上） ± 2%FS （小于 0~1%） ±3%FS （小于 0~100ppm） | |
| 响应时间 | 0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校准气体切换时响应 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或*** | |
| 电源 | AC85~132V *选项：AC170~264V，DC24V±10% | |
| 联系人输入 （非电压触点输入） | 范围切换输入 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC， 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪 异常 范围 回声 回声（2 个量程识别） 范围 回声回声（3 个量程识别） READY 浓度上限 警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度下 限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可从上述选项中选择 4 个点，并可以更改设置。 | |
| 范围切换 | 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 * 可以从以上选择和更改 | |
| 输出 HOLD 设置 | 无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格：直线电缆 |
| 形式 | SH-304 型 | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 测量原理 | 氧化锆灯罩电池工法 | |
| 测量范围 | 0-10 / 100 / 1,000ppm， 0-*** *最小 0-10ppm ~ 0-*** 零点固定，可任意 4 个范围 | |
| 校对 | 空气点 + MAX.4 点校准 | |
| 强度 | DC4~20mA × 1点（非隔离输出，负载电阻600Ω以下） DC0~1V × 1点（非隔离输出） | |
| 样气 / 校准气体流速 | 0.3±0.05 升/分钟 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1%FS （小于 0~1% 范围） ±0.5%FS （高于 0~1% 范围） |
| 线性 | ±3%FS （小于 0~100ppm） ±2%FS （小于 0~1%） ±4%FS （0~1% 或更高） | |
| 响应时间 | 0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校准气体切换时响应 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或*** | |
| 电源 | 直流24V±10% | |
| 联系人输入 （非电压触点输入） | 范围切换输入 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC， 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪异常 READY 浓度上限警报 （0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度 下限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 范围 回声（2 个范围识别） 范围回显（3 范围识别） * 前 4 项是标准项，后 2 项也可以更改。 | |
| 范围切换 | 自动量程切换 * 也可以选择远程范围和本地范围切换，并且可以更改设置。 | |
| 输出 HOLD 设置 | HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * HOLD * 传感器和接收器异常时保持 * 无 HOLD，任何值都可以选择 HOLD。 | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格：直线电缆 |
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