产品介绍
我司专业开发用于芯片尺寸、瑕疵之显微镜。主要用于生产车间、研发部门的尺寸检测。使用方便,快速 测量一个尺寸只需5秒,新手只需培训20分钟即可上手。搭配WGD封装专用光路,影像清晰 测量无误差,测量精度2微米。为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验,人性化计算机测量模式,使操作更便利、量测更迅速。
机台规格参数
X,Y,Z轴测量分辨率:0.5um
跨距X,Y轴测量精度:(1.5+L/150)um
重复精度X,Y为2um, Z轴为3um
对焦方式:手动
130万像素高分辨率专用彩色CCD摄影机
自动测高系统
具备完整量测功能,量测之数据可存盘并随时呼出计算
提供完整几何公差计算
影像直接显示器显示观察,影像可直接量测并存档
点、线、圆、弧皆可多点测定,偏差图形显示
***影像寻边及自动去毛边功能,使量测过程更轻松、准确
提供强大的线性与非线性补偿表,***机台精度更高
量测数据可连接至EXCEL进行编修
图形区可存DXF、IGES档,是CAD逆向工程的利器
可自由设定计算单位:公、英制
可切换各种坐标系
小数点位数1-5位
角度计算单位:十进制或60进制
WGD封装专用光学镜头规格:
1,配10X/22高眼点大视场平场目镜;
2,配30°倾斜***远铰链式倒像三通观察头,配1X CTV界面;
3,内定位5孔转换器;
4,WGD封装专用物镜 5X/10X/20X/50X
130万像素CCD显视系统
CCD功能特性
采用千兆以太网接口快速实时传输非压缩图像
千兆以太网接口提供了1Gbps带宽,传输距离可达100米
128M板上缓存,可缓存多张图片,用于突发传输或者重传
支持自动曝光控制,用户自定义查打表LUT、Gamma校正等
彩色相机植入优异的图像插值算法,更好的颜色还原,并且支持自动白平衡