主要生产螺杆真空泵、干式螺杆真空泵及成套螺杆真空泵机组,自行研制伞形螺杆核心技术,其螺杆端面型线,在各种环境工艺中表现出极高的稳定性,无论单独使用还是和其他前期泵配合使用,具有***,无噪音等优良特点。
螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率***,具有节能,免维修等优点。
它是油封式真空泵的更新换代产品。
LKC150
LKC300
LKC400
LKC800
螺杆真空泵,韩国进口双螺杆真空泵。
干式螺杆真空泵的典型应用: *低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中 *半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒 *除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求 *在化学工业、工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵 行业和市场 *用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染 *制药 化工 石油化工 医疗 电子 钢铁等等 典型应用 化学流程 溶剂回收 真空成型 实验真空 中央真空系统 成型 结晶 干刻 溅镀 熔炼 炼钢 空中模拟 蒸气回收>等等