分子泵 Hipace® 10-800 l/s 产品优点:
1.抽速从 10-800 l/s的全系列产品
2.分子泵结构紧凑,占用空间小
3.高气流量,高抽速
4.集成,高效的冷却系统
5.Hipace 分子泵可以实现任意角度安装
6.防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
7.可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号
8. SEMI S2 和 UL 认证
9.完整的配件系统满足不同客户需求
10.***的分子泵维护保养时间
11.可现场更换分子泵轴承
分子泵 Hipace® 10-800 l/s 技术参数:
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | 启动压强 hPa | 极限压力 | 全转速气体流量 hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | 氮气N2 | min | kg | ||
HiPace® 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3X106 | 25 | <5X10–5 | 0.37 | 0.9 | 1.8 |
HiPace® 60 P | 63 | 16 | 64 | 48 | 28 | 1X106 | 4 | <1X10–7 | 9.2 | 1.1 | 2.2 |
HiPace® 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | <1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
HiPace® 300 HiPace® 300 P HiPace® 300 Plus | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | > 1X1011 | 15(控制器TC 110) | <1X10–7 | 5(控制器TC 110) | 3.5(TC 110) | 5.8 – 8.2 |
HiPace® 400 | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | > 1X1011 | 11 | <1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.6 – 17.5 |
HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | > 1X1011 | 11 | <1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.5 – 17.4 |
HiPace® 800 HiPace® 800 P | 200 | 25 | 790 | 700 | 580 | > 1X1011 | 11 | <1X10–7 | 6.5 | 2 | 12.8 – 19.1 |