DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。莱宝DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的特殊要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的莱宝RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
莱宝DRYVAC螺杆原理的优点
由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下***的系统正常运行时间。
从泵入口到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。
与莱宝螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和平板显示的生产工艺。
客户得益
- 紧凑的螺杆干泵,占用空间小
- 系统集成灵活性非常高
- 噪音低
- 可靠性高
- 集成的自我监控功能
- 无意外停机,维护要求低
莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵典型应用
- 太阳能镀膜(SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等)
- 进样室
- 拉单晶/多晶硅铸锭
- 显示器和玻璃镀膜
- 耐磨涂层镀膜
- 带钢镀膜
- 工业炉
- 冶金
- 真空干燥
- 电子束焊接
技术参数: