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爱发科涡旋式干泵DIS-90 爱发科涡旋真空泵维修 爱发科DIS-251真空泵 苏州爱发科真空

参数
  • 爱发科品牌
  • 气体捕集泵类型
  • DIS-90DIS251型号
江苏 昆山市 60天内发货 1000台
昆山熙日机械设备有限公司 6年
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产品详情

涡旋式干泵

DIS・DISL 系列

DIS-90

ULVAC

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。


特点

  • 结构紧凑,排气量大。

  • 干式真空泵的压力水平。

  • 内置自动复位型热保护器等安全设计。

  • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

  • 分析设备

  • 气体回收系统

  • 涂装设备

  • TMP的背泵

  • 氦气检漏仪

  • 半导体制造工艺

规格


Unit

50Hz60Hz设计排气速度度※1L/min90108

极限压力Pa (kPa)5.0使用电动机※2 

单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 

电容器启动・運転全负荷电流A2.6/1.3/1.6(100/200/230V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)

重量kg14.0

吸气口径 KF-25排气口径 KF-16

使用环境温度范围℃5~40

水蒸气处理量g/day≦5 以下 (AF開時※3, 室温25℃, 湿度60%以下)

噪音水平dB≦52 (AF開時※3, ≦57)

尺寸mm214(W)×308(L)×225(H)

※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
      空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。




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