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- KASHIYAMA品牌
- MU300P/H型号
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
SDE系列：SDE20M20、SDE30M20、SDE4060、SDE4030M20、SDE8060、SDE1220、SDE90X、SDE120TX、SDE303TX、SDE603TX、SDE200、SDE303X、SDE603X、SDE1203X、SDE20M09X、SDE30M09X、SDE20N12TX、SDE30N20、SDE60N20、SDE120U、
MU系列：MU100X、MU180X、MU300X、MU600X、MU1218X、MU20N18X。
SDL系列：SDL12E50/60、SDL20E60、SDL36E60、SD150L、SD220L、SDL25K、SDL40K、SDL60K。
NeodryE系列：Neodry15E、Neodry30E、Neodry36E、Neodry36U、Neodry60E、Neodry100E、Neodry300E。
MU-P/H系列：MU100P/H、MU180P/H、MU300P/H、MU600P/H、MU1218P/H、MU20N18P/H、MU30N18P/H、MU100XN。
HC系列：HC60A/B、HC250、HC450。
RD系列：RD90、RDE90、RD120、RD303、RD603、RD1203、RD2003。
进口真空泵维修常见问题如下：
1.泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手是否能转动，如果能转动，就泵体是没卡死。
2.泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。
3.泵温太高。指低级排气阀附近测得的zui高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降;使橡胶件容易老化，热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高;水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。
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英国爱德华RV12真空泵回油装置A50419000原厂配件 ¥1050.00
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EDWARDS爱德华E2M80真空泵维修包A36501814 ¥3500.00
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Edwards爱德华真空泵油UL19(H11025013)4L ¥450.00
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