VD系列是配备了ULVAC***的多电压电机的双级旋片式直驱油旋转真空泵。
双级旋转叶片式油回转真空泵能达到较低的极限压力,优化设计实现了泵的低噪音运行,配件种类充实,用途非常广泛。
特点
采用ULVAC原装多电压电机
支持200至240 V / 380至460 V的宽幅电压。
采用强制加油方式
即使在大气压附近,排气速度也是稳定的。 大气和真空间反复切换的选择。
特殊用途也可应用。
除了标准型号,我们还提供特殊应用的型号。
類型 | 適用機型 | 主密封材料 | 加油機獨立加油 | 氦氣洩漏測試 |
標準規格 | VD30C, VD40C, VD60C, VD90C | 氟橡膠 | × | × |
A 規格 | VD30C-A, VD40C-A | 丁腈橡膠 | × | × |
B 規格 | VD30C-B, VD40C-B | 矽橡膠 | ○ | × |
H 規格 | VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H | 氟橡膠 | ○ | ○ |
用途
蒸发设备・溅射设备・离子镀膜设备
分析设备・检漏设备
气体交换・液体注入
真空干燥・冷冻干燥・真空脱气・真空隔热
真空吸附・真空成型
其他各种真空设备
规格
型号 | VD30C | VD40C | VD60C | VD90C | ||
设计排气速度 | 50Hz | 30 m3/h/ (500 L/min) | 40 m3/h/ (670 L/min) | 60 m3/h/ (1000 L/min) | 90 m3/h/ (1500 L/min) | |
60Hz | 36 m3/h/ (600 L/min) | 48 m3/h/ (800 L/min) | 72 m3/h/ (1200 L/min) | 108 m3/h/ (1800 L/min) | ||
到达压力 *1 | GP 关 | ≦ 0.67 Pa | ||||
GP 开 | ≦ 6.7 Pa | |||||
水蒸气 允许压力 | GP 开 | 50Hz | 1300 Pa | 1360 Pa | 1320 Pa | 970 Pa |
60Hz | 1400 Pa | 1760 Pa | 2800 Pa | 2820Pa *2 | ||
水蒸气 容量 | GP 开 | 50Hz | 190 g/h | 270 g/h | 430 g/h | 480 g/h |
60Hz | 250 g/h | 410 g/h | 1100 g/h | 1650 g/h *2 | ||
电机 *3 | 电机类型 | 全封闭外扇形三相感应电动机 | ||||
高效率等級 | IE3 | |||||
出力 | 1.5 kW(4 极数) | 1.5 kW(4 极数) | 2.2 kW(4 极数) | 3.7 kW(4 极数) | ||
电压 | 50Hz | 200 ~ 240 /380 ~ 415 V | ||||
60Hz | 200 ~ 240 /380 ~ 460 V | |||||
使用油 | ULVOIL R-72 | |||||
油量 | 1.0 ~ 2.5 L | 2.5 ~ 4.0 L | ||||
冷却方式 | 空冷 Air cooled | |||||
吸气口 JIS B 2290 ( ISO KF ) | VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 ) | VG50 ( 选配件 KF50 相当 ) | ||||
排气口 JIS B 2290 ( ISO KF ) | VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 ) | |||||
外形尺寸 WxDxH | 210×660× 324mm | 210×680× 324mm | 280×761× 371mm | 280×831× 371mm | ||
重量 | 58kg | 60kg | 90kg | 113kg | ||
符合规格 | CE | |||||
标准附属品 | 泵所需油量 | |||||
推荐的油雾收集器 ( Optional ) *4 | TM201 : 低负载运行 | TM401 : 低负载运行 | ||||
TM401 : 高负荷运行 | TM-2 ( VD ) : 高负荷运行 | |||||
选配件 | 油雾收集器,各种油,气镇阀,ISO法兰,增加了防爆电机,特殊应用的耐压防爆电机 |
爱发科ULVAC真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们提供一系列适用于所有领域、条件和应用的真空泵,包括涡轮分子泵、低温泵和溅射离子泵。
泵型--全部低温泵、超级陷阱、涡轮分子泵、溅射离子泵、油扩散泵、排气装置、高真空泵油。
低温泵CRYO-U系列 超真空冷冻机
爱发科ULVAC低温真空泵CRYO-U8H、CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、
爱发科ULVAC超真空冷冻机 CRYO-U8H-U、CRYO-U8HL、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、
半导体真空泵ULVAC爱发科CRYO-U1OHSP、 CRYO-U12H、 CRYO-U12HL、 CRYO-U12HSP、
ULVAC爱发科真空泵CRYO-U16、 CRYO-U16P、 CRYO-U20P、 CRYO-U20H、
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U22P、 CRYO-U22WB、 CRYO-U22H、 CRYO-U3OH、
日本ULVAC爱发科油回转真空泵VD系列
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC爱发科超真空泵
油回转真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC爱发科
旋片式(单级)油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器 VDE-3
爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
爱发科ULVAC 真空泵(低/中真空)
ULVAC 的真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。除了油回转泵外,我们还拥有适合所有领域、条件和应用的真空泵系列,包括干泵、罗茨型、隔膜型和活塞型。
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS300A-W
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS1501/VS2401
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS650B/VS750B
爱发科ULVAC油回转真空泵VD系列
VD版本C
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD180(B) *1 / PVD-360(B) *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
PKS-016 /PKS-030/ PKS-070B *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
TMX-1
爱发科ULVAC油回转真空泵
油雾捕集器 TM201
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM401
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4S
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-10DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-20DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101D
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-25SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101S
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLS-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-040
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137AA
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137CC
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202AA
爱发科ULVAC 油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202BB
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-280A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-031A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-101A
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-051X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-136X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-201X
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-050A
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-100A/OMT-200A
爱发科ULVAC油回转真空泵内联陷阱
OMI-100/ OMI-200
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾分离器
OMC-050/OMC-200
爱发科ULVAC油回转真空泵 前线陷阱
OFI-050C/OFI-200C/OFI-050V/OFI-200V
爱发科ULVAC油回转真空泵 油过滤系统
UFO-003/UFW-003
代 理日本各类工业品:SAN-EI三英(点胶阀),MUSASHI武藏点胶机(点胶机),SINFONIA昕芙旎雅(半导体晶圆搬运设备)UNIX优尼(焊锡机),Nordson诺信EFD(点胶机),IEI岩下(点胶机),aicohsha爱工舍ACM(立式搅拌机),日本KURABO仓纺脱泡机,日本THINKY日新基脱泡机,KLEENTEK可滤特(静电净油机),ASAHIKASEI旭化成(工业泵),TAGAWA十川(软管),YODOGAWA淀川(集尘机),MALCOM马康(锡膏粘度计),USHIO牛尾(点光源),SHOWA昭和电机(鼓风机),TSUBAKI椿本链条,KIKUSUI菊水(电源),CEDAR思达(扭力测试仪),MEISEI迈泽(电热剥线器)、SANKO山高(膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所(直流电源)、CCS光源(光源)、Tsubosaka壶坂(辉度箱)、POLARION普拉瑞(探照灯)AITEC艾泰克(检查光源)、Iwasaki岩崎(金卤灯)、OTSUKA大塚电子(光学膜厚仪)、KOSAKA小坂(台阶仪)、HORIBA堀场仪器(分析仪)、cosmo科斯莫(气体测试仪)、SIBATA柴田科学(环境测定)、TORAY东丽浓度仪(氧气分析仪)、RION理音(测振仪)、HOKUTO DENKO北斗电工、SANYOSEIKO山阳精工、日本IMV爱睦威地震仪、TML东京测器、TOE东京光电子、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、LUCEO鲁西欧(偏光应力仪)、KYOWA共和(应变片)、ONOSOKKI小野(传感器)、FUJIKURA藤仓(单向阀)TOKISANGYO东机产业(粘度计)、SK新泻精机(水平测量尺)SKSATO佐藤(温度记录仪)、TECLOCK得乐(硬度计)、AND爱安得(电子天平)、KEM京都电子(水分仪)、TOHNICHI东日(扭力扳手)、Heishin兵神(定子)、TOKKYOKIKI特许机器(抗震台)、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇(泵)、kashiyama柏山(干式泵)、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半导体晶圆设备)、YUASA汤浅(弯折试验机)、SIMCO思美高(离子棒),SSD西西蒂(离子风扇),DIT东日技研(防静电),KASUGA春日(离子棒),TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、Filmetrics优尼康(膜厚测量仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓(恒温箱)YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计)