日本ULVAC爱发科 - 嵌入型 UNECS-1M高速光谱椭偏仪
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UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。
特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
| 型号 | 1500A | 2000A | 3000A |
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | ||
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | ||
| 入射角度 | 70o固定 | ||
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | ||
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | ||
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | ||
| 平台 | Φ150mm自动 | Φ200mm自动 | Φ300mm自动 |
| 自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | ||
| 机器构成 | 测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） |
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