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莱宝SP630螺杆泵维修

参数
  • 气体传输泵类型
  • 莱宝品牌
  • SP630型号
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  莱宝SP630螺杆泵维修

  SP630螺杆泵维修PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。




莱宝SP630螺杆泵维修

SP630螺杆泵维修运行时,发现下列异常现象后, SP630螺杆泵维修必须进行仔细的调查

1,流量下降:吸入管路堵塞或漏气;螺旋套、衬套磨损;安全阀弹簧太松或阀瓣与阀座接触不严;电动机转速不够;安装过高,超过泵吸上能力轴密封泄漏相对应的解决方案应该是检修吸入管路;磨损严重时应更换零件;调整弹簧、研磨阀瓣与阀座;修理或更换电动机;降低吸上高度和吸入管路阻力;检修或更换轴密封件

2,机械密封发热:密封液管路堵塞;机械密封弹簧压缩量过大。解决方案是排除密封管路故障;减小弹簧压缩量。、机械密封大量漏油:装配位置不对;密封压盖未压平;动环或静环密封面碰伤;动环或静环密封圈损坏。解决方案是重新按要求安装;调整密封压盖;研磨密封面或更换新件;更换密封圈

轴功率急剧增大:排出管路堵塞;螺杆与泵套严重摩擦;介质粘度太大;安装不正,转动部件不同心。解决方案是停泵清洗管路;检修或更换有关零件;将介质升温,降低黏度;调整校正装配和安装精度

3,抱轴(不能转动):温度过高泵内零件过度膨胀;启动力矩不足。解决方案是泵冷却后用手盘动后再启动;检查驱动装置

市场上螺杆泵品牌繁多,比如阿尔卡特 爱德华 日本荏原 德国普旭, SP630螺杆泵维修,莱宝螺杆泵等.东莞市钥大真空设备有限公司专业阿尔卡特干泵维修 爱德华螺杆泵维修

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