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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,爱德华磁悬浮涡轮泵服务,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
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BOC EDWARDS爱德华EXT75DX分子泵维修
产品优势:
EXT75DX是一种混合轴承复合涡轮泵,结合了陶瓷机械下部轴承,干式永磁上部轴承和Holweck拖曳级的成熟技术,并带有板载24V控制器的额外便利性,允许与我们的并行和串行通信兼容TAG和TIC控制器。
广州潽拓从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,yi疗,太阳能电池板,玻璃镀膜,汕头爱德华磁悬浮涡轮泵,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,主要维修leybold,爱德华磁悬浮涡轮泵故障,pfeiffer,alcatel,爱德华磁悬浮涡轮泵维护,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等分子泵,欢迎来电咨询.
EXT75DX可用于DN 40 NW,***-63,DN 63 CF或***-100入口法兰,其N 2 抽速为66ls -1。基本的泵系统需要EXT75DX泵,TAG或TIC控制器,空冷或水冷附件以及合适的后备泵。
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【广州现货】Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT240D ,二手分子泵维修保养
入口法兰 DN100***-K,DN100CF
出口法兰 DN25NW
标称旋转速度 60000 rpm
待机旋转速度 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm)
推荐控制器 TIC200 分子泵和仪器控制器