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分子泵工作条件
转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
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如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。