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爱发科 NRL1800A 是一款多级罗茨式干式真空泵，具有低噪音、低振动、优良的耐腐蚀性等特点。
其工作领域包括半导体、电子等行业的制造工艺，以及各种真空镀膜、热处理和液晶注入等工艺。
在进行 ULVAC 爱发科 NRL1800A 干式真空泵的维修、清洗保养服务时，可采取以下步骤：
维修方面：
故障诊断：通过各种检测手段确定具体故障表现和原因。
零部件检修：对泵内的关键零部件如转子、定子等进行仔细检查和修复或更换。
电气系统排查：检查电路、控制器等是否正常，解决电气相关故障。
清洗保养方面：
外部清洁：擦拭泵体表面，去除灰尘和污渍。
内部冲洗：使用合适的清洁剂对泵内部进行温和冲洗，去除附着物。
更换易损件：如密封件、过滤器等，确保良好的密封和过滤效果。
润滑维护：对需要润滑的部位进行适量润滑。
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