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ULVAC 爱发科干式真空泵 PDR-090CLN 常用于半导体制造、镀膜、科研等领域，
性能优势主要包括：
高真空度：能够达到较高的真空水平。
低振动、低噪音：运行平稳，对环境影响小。
稳定可靠：性能稳定，使用寿命较长。
ULVAC 爱发科干式真空泵 PDR-090CLN 可能出现的常见故障有：
1. 密封件损坏：导致真空度下降。
2. 轴承磨损：引起振动增大或运转不畅。
3. 控制器故障：影响真空泵的正常运行和控制。
4. 泵体内部磨损：造成性能下
5. 控制器故障：影响真空泵的正常运行和控制。
6. 泵体内部磨损：造成性能下
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