供应EDWARDS爱德华进口真空泵STP-XA3203C磁悬浮涡轮分子泵价私聊

¥88.89万 1 - 6
¥66.67万 ≥7

参数

高真空产品特性
气体捕集泵类型
Edwards爱德华品牌

发货地江苏昆山市 15天内发货供货总量7台

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产品详情

特长

详情介绍：概述STP-XA3203C涡轮泵为高真空到2300sccm制程流的制程范围内提供高性能，并提高气体的吞吐量。此泵基于新的平台设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。其***性能既适用于温和的应用环境，也适用于严苛的环境，例如半导体刻蚀、注入、光刻和LCD制程。应用金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）电子回旋共振（ECR）刻蚀薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD溅射离子注入源，射束线泵送端点站MBE扩散光致抗蚀剂脱模晶体/晶膜生长晶片检查负载锁真空腔科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜高能物理：射束线、加速器放射线应用：融合系统、回旋