*1:辅助泵容量为100L/min时的允许流量
[使用环境温度]
***极限压力的环境温度为10~23℃。另外,风冷时允许环境温度为10~32℃,水冷时允许环境温度为10~40℃。极限压力***冷却水温度为30℃以下,允许冷却水温度为10~35℃。
[兼容气体类型]
根据吸入气体类型,轴承润滑油脂和内部零件可能会劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・分析测试设备
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*排出腐蚀性气体等时,请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。