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ZDF系列复合真空计
ZDF-5214M4/5214M-IIL 电阻，电离复合真空计
ZDF-5214M 复合计，由一路低真空测量电阻（ZJ-52T）单元与一路高真空测量电离（M014A）单元组合，电阻规单元与电离规单为独立测量单元，
ZDF-5214M-IIL复合计由二路低真空测量电阻（ZJ-52T）单元与一路高真空测量电离（M014A）单元组合，一路电阻规单元为独立测量单元，另一路电阻规单元与1路电离规单元安装同一测量点作为复合测量单元。
该两种复合真空计的电源开启/关闭与电离的启动/关闭即可通过仪器自动操作也可通过外控PLC来实现，为满足当前真空设备自动化控制的技术要求，该两种真空计都具备继电器控制，串行通讯，模拟量输出等功能，
性能
电阻规的零点数字自动校正，电阻规故障自动判断，电离规工作状态自动判断
离规阳电压可控
测量范围：1.0×105PA～1.0×10-7Pa/建议在范围内设置
配接规管：ZJ-52T/玻璃；金属直插 DN16/25/35CF；DN10/16/25/40KF等不同接口
M014A/ DN35CF 40KF等不同接口；
定值输出负载能力：AC220V/3A
控制方式：点控或区域控制/带掉电记忆
显示方式：五位LED数字显示，
模拟输出：0-5V/4-20mA(用户选配)
通讯接口： RS232/RS-485(用户选配)
使用环境：温度0-10度，湿度小于等于95%
测量范围：1.0×105～1.0×10-7Pa
配接规管：ZJ-52T电阻规1只/M014电离规一只
测量路数：2路（ZJ-52T低真空规管和一路M014高真空规管安装在一个测量点
显示路数：2个窗口
控制路数：4
工作电源：AC50Hz / 220V±10% / 60W
面板尺寸：480×88 mm2
机箱尺寸：440（宽）×260（深）×80（高）mm3
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