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日本MTK 臭氧水发生器/单晶圆清洗设备（湿法处理设备)/臭氧水生产设备

¥6800.00 ≥1件起批

参数

日本MTK品牌
SDM-72型号
否加工定制

发货地湖北武汉 30天内发货供货总量20件

津越工业设备（武汉）有限公司 3年: 进入店铺在线咨询

日本MTK 臭氧水发生器/单晶圆清洗设备（湿法处理设备)

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产品详情

晶圆表面的颗粒数量极低

（支持高达25nm节点）

示例：粘附粒子的数量... 10个/W以下水平（0.08μm或更多颗粒）（参考）200个/W水平（罐型）

化学溶液和纯水消耗量低

化学溶液（例）在1%dHF的情况下，纯水20升/天

每片处理0.5~1升/分钟。

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产品参数

品牌日本MTK
型号SDM-72
加工定制否
供气口1000mm
标准供给压力220bar
真空口3000mm
最高真空度50kPa
最高适用压力600bar
货号234
产品特性臭氧水
产品类型***
安全等级***
电压220V
电流10A
使用湿度范围0~1000
适用温度范围0~1000
内部表示显示方式
材质不锈钢(SUS304)
本体重量25kg

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