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无尘车间工程主要包含空气处置机组、新风处置机组、初效过滤器、中效过滤器、带高效过 滤器送风单元、层流罩送风单元、FFU(风机过滤机组、层流罩送风单元、冷冻水泵、冷却水泵、热水器、热水泵、热水塔、冷却水塔、冷水塔、排气风机、排风 净化设备、风冷热泵机组、制冷凉风盘管、室内负荷空气处置机组、风淋室、传递窗、RS回风体系、送风目标。
无尘室或清净室。它是污染操控的根底。没有无尘室，污染灵敏零件不可能批量出产。在 FED-STD-2里边，将空气中之尘土、压力、温度、湿度、气流散布之景象及速度，操控于必定范围内之空间。此处所指之尘土为肉眼无法看见的尘埃颗粒。此外，在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
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