分子泵的清洗: 7.上下活动分子泵几次,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概5~10分钟。 8.换掉无水酒精,加入新的无水酒精,重复前面的工作,最少要重复一次。 9.拿出分子泵。 10.将高真空接口朝上,从垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性轴承中的酒精。 11.用一个网格放在高真空接口上,然后朝下放置,利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。 12.接上前级真空泵,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概10E-1左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。 13.更换真空泵中的真空油,接上分子泵开始工作。 注意次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。
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