选型
嗅探器系列
BS9
ULVAC
吸枪,被检查物内部用He(氦)加压,使用吸枪在探测漏的地方。
规格
Model | AS9 | BS9 | BT9 |
Detectable gas | 4He | ||
Minimum leak rate display range [Pa・m3/ sec] | 0.01E-8~E5 | 0.01E-7~E3 | |
Flow rate[SLM] | <0.03 | 約3 | |
Sniffing inlet port | Handy probe | Φ6mm tube fitting | |
Tube[m] | 1-10(*1) |
Specified length per 1m.