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产品详情
M系列 是用于最小特征的高性能电镀厚度测量的产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列，将X射线束聚焦到15μmFWHM。 为了测量该比例的功能，随附了具有更高数字变焦的150x放大倍率相机。 更高的放大倍率会限制视野，因此***台摄像机拍摄了要测量零件的宏观图像。 双摄像头系统使操作员可以看到整个零件，单击图像以使用高磁摄像头放大，并***要测量的特征。
高精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。
标准配置包括15μm光学器件和高分辨率SDD检测器，以处理更高的计数率。 可编程XY样品台也是标准配置。 光学系统的焦距很近，因此使用M系列测量的样品必须平坦。
性能表现
| 镍钯金 | 化学镍 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| μmAu | μmPd | μmNi | μmNiP | μm％P | |
| Ave | 0.043 | 0.08 | 3.72 | 10.202 | 10.17 |
| StdDev | 0.0005 | 0.0009 | 0.00010 | 0.1089 | 0.29 |
| Range | 0.0015 | 0.0030 | 0.040 | 0.3863 | 0.9900 |
| %RSD | 1.05% | 1.13% | 0.03% | 1.07% | 2.85% |
M系列可满足以下类型用户的需求：
非常小的样品，主要应用于半导体，连接器或PCB领域
需要测试多个样品的多个位置
非常薄的涂层（<100nm）
需要在短时间内完成测量（1-5秒）
***符合IPC-4552A，4553A，4554和4556
ASTM B568，DIN 50987和*** 3497
产品规格
| X射线管： | 50W钼靶射线管 15um毛细管光学结构 |
| 探测器： | 135eV分辨率的硅漂移探测器 |
| 分析层数 及元素数： | 5层（4层+基材） 每层可分析10种元素，成分分析最多可分析25种元素 |
| 滤波器/准直器： | 4位置一次滤波器 |
| 焦距： | 固定在0.05“（1.27mm） |
| 数字脉冲处理： | 4096 多通道数字处理器，自动死时间和逃逸峰校正 |
| 计算机： | 英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位 |
| 相机： | 1 / 4“（6mm）CMOS-1280×720 VGA分辨率，带双摄像头的250X或45mm（381”）屏幕上带单摄像头的15X |
| 视频放大倍率： | 250X：配备双摄像头45X：15上的单摄像头“屏幕 |
| 电源： | 150W，100-240V，频率范围为47Hz至63Hz |
| 工作环境： | 温度介于68°F（20°C）与77°F（25°C）之间，相对湿度小于98％，无冷凝 |
| 重量： | 70kg |
| 可编程XY平台： | 工作台尺寸：431 mm（17“）x 406mm（16”）| 行程：165mm（6.5“）x 165mm（6.5”）高精度 现在可用 扩展 舞台选择 |
| 样品仓尺寸： | 高度：137mm（5.4"），宽度：310mm（12"），深度：340mm（13"） |
| 外形尺寸： | 高度：500mm（20"），宽度：450mm（18"），深度：600mm（24"） |
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产品参数
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