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OTFC-1300
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
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真空室尺寸：Φ600-1800mm
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60点/80点式光学膜厚监控
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使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
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搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
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利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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工件架可选择钟罩式或行星式
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排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称 | OTFC-1300CBI/DBI |
真空室 | SUS304, φ1300mm×1610mm (H) |
工件架 | φ1130mm |
工件架转速 | 10rpm to 50rpm(可变) |
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 |
水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源 | 电子枪2套 |
离子源 | 17cmRF离子源 |
排气系统 | 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵） |
真空室 | SUS304,Ф1300mm×1500mm(H) |
基板架 | 4片式工作架（或Ф1200 mm） |
基板架转速 | 30rpm(可调) |
晶振式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源 | 电子枪1台 |
性能
达到压力 | 7.0×10-5 Pa 以下 |
排气时间 | 15分（大气压～1.3×10-3 Pa) |
基板温度 | ：350℃ |
工作条件
设备尺寸 | 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) |
电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA |
水流量 | 140升/分以上 |
空气压力 | 0.5MPa以上 |
重量 | 约8500kg |
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