二手日本光驰OTFC-1300MM OTFC-1550MM OTFC-2050MM光学镀膜机

¥42万 1台起批
¥39.8万 2
¥28万 ≥3

参数

日本原装产品特性
否是否进口
日本产地

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产品详情

二手日本光驰OTFC-1300MM OTFC-1550MM OTFC-2050MM光学镀膜机介绍

OTFC-1300光学镀膜机配置

厂商	OPTORUN	OPTORUN
型号	OTFC1300C	OTFC1300DB
序列号	S0019	S0567
电子枪（双电子枪有无）	JST-10F-2GUN	JST-10F-2GUN
坩埚点数	24点+28点
旋转泵		VS2401
机械升压泵	EH500
扩散泵	冷冻U20Px2台	22’x2台
冷冻机	无	Polycold PFC-670HC
离子枪（射频离子源）	有	无
光学检测有无（光控/精控）	有	有
基板加热heater有无	有	有
回转	中心回转	中心回转

OTFC-1550光学镀膜机配置

真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式

水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源：2套日本电子24P双枪

离子源：23 寸光驰RF离子源

排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵

性能

达到压力：7. 0X10-5Pa以下

排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)

基板温度：: 350C

工作条件

电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA

水流量：180升/分以上

空气压力：0.5MPa以上

重量：约11000kg

光学蒸发真空涂层机广泛应用于生活中。蒸发真空涂层机的原理是利用薄膜加热装置的热能使薄膜原子在真空条件下通过热运动逃离薄膜表面并沉积在基板表面的沉积技术。光学蒸发真空镀膜机-清洗方法真空工艺进行前，应清洁真空材料，从工件或系统材料表面清除污染物；还需要清洁灯具涂层机零件的表面，因为污染物引起的气体和蒸汽源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在，也会影响真空部件连接处的强度和密封性能。污染物可定义为“任何无用的物质或能量”。根据污染物的物理状态，多弧离子涂层机可分为固体、气体和液体，以膜或散粒的形式存在。就其化学特性而言，它可以处于离子态或共价态，可以是无机物或有机物。暴露在空气中的表面容易受到污染，污染源多种多样，初始污染通常是表面本身形成过程的一部分。各种成分的表面污染物增加了吸附现象、化学反应、浸析和干燥过程、机械处理、扩散和离析过程。真空材料表面常见的污染物有以下类型。 ①油脂：润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染； ②水基:手汗、吹气水蒸气、唾液等。操作时； ③表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中形成的表面氧化物； ④酸、碱、盐：清洗过程中的残留物、手汗、水中的矿物质等； ⑤环境空气中的粉尘和其他有机物被抛光。清洗后的表面按要求分为原子级清洗表面和工艺技术清洗表面。前期到位的清洗可以减少很多麻烦，避免溅控溅射镀膜机出现很多小问题，对工作效率和真空镀膜机的镀膜质量都非常积极。在各种工作条件下，真空系统中所有器壁和其它部件表面的工作稳定性都可以大大提高。这些工作条件包括：高温、低温、电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。

真空镀膜机设备

光学蒸发真空镀膜机-加热特性光学蒸发真空涂层机有蒸发源，用于加热靶材。可通过电阻加热、感应加热、电子束加热、雷电加热和电弧加热进行。其中，电阻模式使用较多，因为其工作原理简单，目标材料通过电流加热电阻，操作方便，相应的设备结构不复杂，价格便宜。感应模式是高频感应加热，通过高频电流感应。使目标材料本身产生电流，从而加热和蒸发。这种方法效***，速度快。因为它产生自己的热量，较大的目标材料也可以快速加热。电子束是对电子枪进行高压电流，产生电子束加热蒸发源，这是一种产生极高温度的方法，达到3000摄氏度。雷射采用激光束，通过光学聚集在蒸发源上加热。与电子束不同的是，激光束与细颗粒分离，电子束与分子分离，雷射加热和蒸发的膜质量较好。电弧采用弧光放电加热。即使基板不加热，也可以镀出好的膜层，熔点高的金属或化合物也可以蒸镀，不会像电阻加热那样造成污染。以上五种真空蒸发涂层机的加热方法各有优点，可根据客户的不同需求进行配置。光学蒸发真空镀膜机-优点和特点蒸发操作在真空下进行。真空蒸发可降低溶液沸点，因此具有以下优点： ①牛奶、果汁、蜂蜜和***等热敏性物质可在高温下处理。 ②增加传热驱动力，增加蒸发器单位传热面积的蒸发量。 ③低温热源可用于降低能耗。在真空下操作多效蒸发装置中的后几效。然而，溶液冷却会增加粘度，降低传热系数。

二手日本光驰OTFC-1300MM OTFC-1550MM OTFC-2050MM光学镀膜机照片