二手日本创技(SPEEDFAM)半导体行业抛光机-硅片双面研磨抛光机介绍
本公司转让二手日本创技,日本HAMAL双面研磨抛光机 16B 20B 21B 28B 35B 40B 设备成色新,保养得相当好,插电可以用。
二手日本创技(SPEEDFAM)半导体行业抛光机 硅片双面研磨抛光机主要特点:
1.进口变频器配合变频电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.采用二电机同步拖动,可选择游星轮的变速范围更广,能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
3.单独电机抬升内齿圈,并在总行范围内随意停留,满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度,调整方法简便。
4.采用国内***的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理,大大提高了其耐蚀性,继而也提高并能长期***底座安装精度。
5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的***元件,主气缸为精密低摩擦力气缸,压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。
6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制,其静态调整精度<2Kg,动态压力波动<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性,进而确保提高元件加工精度及合格率。
7.人机界面(HMI)显示与PLC主控制器结合,一方面显示运行参数,另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数,主操作由普通键钮完成。
8.采用自动润滑装置,用户可根据自己的使用情况,设定自动润滑时间,使机器的各相对运动表面,齿轮啮合部位得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。
9.研磨机配置了高精度的测厚装置,工件加工的动态情况通过HMI随时可见。
10.可根据用户的加工工艺要求,选装抛光液温度调节装置(单制或双制均可)。
如何使用双面研磨机研磨平行度要求很高的工件
相对于单面研磨机来说,双面研磨机
衡量他设备精度高低的一个***数值是平行度。也就是说除了平面度,粗超度以外,平行度也是双面研磨机设备质量高低的一个重要指标。在单面研磨机上对于平面度,粗超度的讲解已经很详细了,但是平行度确实很少提到,因为使用单面研磨机研磨的工件对于平行度都是没有太高要求的,如果需要较高平行度就只能用双面研磨机来实现。那么平行度到底是一个什么数值,在工件上具体体现在哪些方面呢?
平行度是指工件正反两个平面之间水平平行的程度,反映在数值上就是两平面平行的公差,公差值越小平行度就越高,反之越低。故平行度要求较高的工件,需要同时对它的两个面进行研磨,这样才能***公差值缩小到一定范围内,这就是为什么要用双面研磨机而不能用单面机的缘故了。因为不管单面机对某一个面如何高精密研磨也是无法控制另一个面的走向。双面机则不一样,它能将微观上不在同一个水平线的两个面同时进行研磨,缩短差距,尽可能的达到平行。那么在当代研磨技术上,平行度2u是目前国内所能在双面研磨机上做到的,当然也许可能比这个更高,但是很难,需要根据工件才能定性,如果工件的材质,尺寸等各方面达到研磨状态,精度可能更高也是存在的。
二手日本创技(SPEEDFAM)半导体行业抛光机 硅片双面研磨抛光机设备照片
二手机械库存明细
双面抛光机系列:
日本:hamai16B speedfam16B 21B 28B 30B 40B 双面抛光研磨机
德国:Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机
国产:金研/宇晶9.6B 9S 9B 13B 15B 16B 20B
镀膜机械系列:
日本:光弛OTFC-1300/1550/2350
德国:莱宝:1300
台湾:龙翩LP-1400/1650/1800
韩国:韩一 1200 联合2050
南光:1100/1300
检测仪器:
日本岛津UV-1800 UV-1900i UV-2600i分光光度计
日 立 :2900/4000/4001/4150 光谱仪
二次元/三次元(2010/3020/4030.......)
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